常见曝光机举例

　　紫外灯电源系统

　　操作控制器

　　350W紫外灯

　　MDA-400M参数：

　　晶片台

　　基底尺寸 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；

　　托盘 标准尺寸 最大至4英寸；可选最大至6英寸；

　　活动范围

　　X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree

　　对准精度 1um

　　挤入补偿 Air bearing型

　　Z轴滑动 手动

　　真空泵 无油真空泵

　　掩膜台

　　掩膜夹具类型 真空吸附和机械夹取

　　紫外光源

　　紫外灯 350 瓦

　　均匀光束大小 4.25“ X 4.25“

　　曝光模式 压缩/真空/相邻

　　曝光时间控制 可编程控制型

　　曝光定时器 1 ~ 999.9 秒